PVD设备 市场大 占比 稳步增长PVD设备,又称物理气相沉积设备,属于一种薄膜沉积设备。它是PVD技术的载体,主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成,主要应用于集成电路制造、机械模具以及化工等领域。

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我国PVD设备国产率、需求等规模不断增长 但国际竞争力仍待提升

字体大小: 2020-10-09 13:07  来源:中国报告网

中国报告网提示:PVD设备,又称物理气相沉积设备,属于一种薄膜沉积设备。它是PVD技术的载体,主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成,主要应用于集成电路制造、机械模具以及化工等领域。

         PVD设备,又称物理气相沉积设备,属于一种薄膜沉积设备。它是PVD技术的载体,主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成,主要应用于集成电路制造、机械模具以及化工等领域。

PVD设备产业链
 
资料来源:公开资料整理

         从全球范围来看,数据显示,近年来,全球PVD设备市场规模稳步增长,到2019年其市场规模已达25.75亿美元,到2025年将达32.51亿美元。

2014-2025年全球PVD设备市场规模变化
 
数据来源:公开资料整理

         从国内范围来看,由于PVD设备的应用对于集成电路制造行业有着不可忽视的作用,我国政府陆续出台了一系列政策扶持PVD设备产业发展。

我国PVD设备相关政策

政策名称

主要内容

《中国制造2025

提升封装、测试产业的自主发展能力,形成关键制造设备的供货能力。

《我国集成电路产业“十三五”发展规划建议》

关键装备和材料进入国际采购体系,基本建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系。

《国家高新技术产业开发区“十三五”规划》

优化产业结构,推进集成电路及专用装备关键核心技术突破和应用。

《“十三五”国家科技创新规划》

攻克14nm刻蚀设备、薄膜设备、掺杂设备等高端制造装备及零部件,突破28nm浸没式光刻机及核心部部件。

《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目(02专项)

构建光刻设备和封测等产业技术创新联盟,集合产业链上制造工艺、装备、相关零部件和材料等上下游企业、相关研究机构和高等院校达200多家单位共同开展产学研用协同攻关。

资料来源:公开资料整理

         在政策扶持下,我国PVD设备工艺技术不断取得突破,产品国产化率不断上升。数据显示,我国PVD设备国产化率已由2013年的不到1%上升至2019年的15%。

我国PVD设备国产化率变化情况
 
资料来源:公开资料整理

         与此同时,我国国产PVD设备的投资额与需求规模在近两年也急速上升。数据显示,2020年,在我国内资产线中,国产设备的投资额将从2019年的47亿元提升到80亿元,需求规模将从2019年的2.3亿元提升至5.6亿元。

2019-2020年我国内资产国产PVD设备投资额与需求规模变化
 
数据来源:公开资料整理

         其中,随着中芯国际、华虹系等持续扩产,CuBS-PVD设备未来市场规模可观,或将成为我国PVD设备行业快速发展的新增长点。

我国内资产线CuBS-PVD设备需求预测

产线

制程

规划月产能(万片)

2019年月产能(万片)

CuBS-PVD设备需求(台)

逻辑代工

中芯国际

FinFET

8

0.5

30+

65/55nm

4

1

15+

华虹无锡(一期)

90-65/55nm

4

0.7

15+

华力微(华虹Fab6)

28/20/14nm

4

2

10+

存储器

长江存储(一期)

3DNAND

30

2.8

20+

合肥长鑫(一期)

DRAM19nm

12.5

 

5+

未来总需求(台)

95+

未来总市场规模(亿元)

40+

资料来源:公开资料整理

         但整体来看,目前我国PVD设备部分类型的产品仍暂无生产能力,与海外龙头企业仍存在一定差距。

我国PVD设备行业相关技术进展情况

设备名称

已量产(nm

在研(nm

High k

/

/

Ni-Pt

/

/

Ti

40-110

28

TiN

40-110

28

Cu B/S

/

28-65

HM

28

14

AI pad

28-110

14

资料来源:公开资料整理

         而从全球PVD设备市场竞争格局来看,也可以反映出目前我国国产PVD设备竞争力仍较低。提升竞争力,加速相关技术研发,是我国PVD设备行业发展的重点任务。数据显示,目前在全球PVD设备市场,AMAT一家独大,约占全球市场份额的80%以上,而我国厂商占比仅为10%左右。

全球PVD设备市场竞争格局

数据来源:公开资料整理(shz)
 

         相关行业分析报告参考《2020年中国PVD设备市场调研报告-产业规模现状与投资商机研究》。

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