全球 半导体用电子气体 格局电子气体种类繁多,是晶圆制造过程中的重要材料。按照在半导体制造过程中对应工艺的不同,可以分为

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2018年全球半导体用电子气体行业寡头格局明显 本土企业逐步放量

字体大小: 2018-11-26 09:32  来源:中国报告网

中国报告网提示:电子气体种类繁多,是晶圆制造过程中的重要材料。按照在半导体制造过程中对应工艺的不同,可以分为

        电子气体种类繁多,是晶圆制造过程中的重要材料。按照在半导体制造过程中对应工艺的不同,可以分为大宗气体、外延用气体、蚀刻气体、掺杂气体、离子注入气体等。在半导体工业中应用的有110余种电子气体,常用的有30种左右。
        
        电子气体分类及用途

类别

主要产品

主要用途

大宗气体

N202ArH2He

环境气、保护气、载体

外延用气体

SiH4SiH2Cl2SiHCl3SiCl4

外延生长

蚀刻气体

SF6CF4NF3SiF4C3F8C2F6HCIHFCL2HBr

刻蚀

掺杂气体

AsH3PH3B2H6ASCI3AsF3BC13PC13

掺杂相应元素

离子注入气体

AsF5PF5SiF4

离子注入元素

图表来源:观研天下整理
        
        2016年全球半导体用特种气体市场规模34.7亿美元,2017年增长到38.9亿美元,增速12.32%,未来有望受益于中国半导体行业的大发展持续增长。
        
        全球半导体用电子气体市场规模及增速
         
        图表来源:观研天下整理
        
        中国半导体用电子气体市场规模及增速
         
        图表来源:观研天下整理
        
        目前全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局,美国气体化工、法国法液空、德国林德、日本日酸和美国普莱克斯占比94%以上。国内半导体用电子市场主要被国外厂商占据,其中美国气体化工、美国普莱克斯、昭和电工、英国BOC、法国液空和日本日酸6家公司合计市占率高达85%,国内企业占比较低。
        
        参考观研天下发布《2018年中国电子特种气体市场分析报告-行业运营态势与投资前景预测
        
        全球半导体用电子气体市场格局
         
        
        图表来源:观研天下整理
        
        中国半导体用电子气体市场格局
         
        图表来源:观研天下整理
        
        国内主要电子气体企业
  

公司名称

主要产品

南大光电

高纯砷烷、磷烷

巨化股份

高纯氨气、氟气、氯气、三氟化氮等

启源装备

高纯磷烷、砷烷、锗烷

稚克科技(科美特)

六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮

金宏气体

超纯氛、氯化氢、二氧化碳

中船重工718

六氛化钨、三氟化氮、

华特气体

氮气、氩气、氦气、四氟化硅

黎明化工研究设计院

四氟化碳、三氟化氮

中昊光明

氨、三氟化氮

南京特种气体

氨、三氟化氮

图表来源:观研天下整理
        
        资料来源:公开资料,观研天下ZQ整理


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