PVD设备，又称物理气相沉积设备，属于一种薄膜沉积设备。它是PVD技术的载体，主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成，主要应用于集成电路制造、机械模具以及化工等领域。
从全球范围来看，数据显示，近年来，全球PVD设备市场规模稳步增长，到2019年其市场规模已达25.75亿美元，到2025年将达32.51亿美元。
从国内范围来看，由于PVD设备的应用对于集成电路制造行业有着不可忽视的作用，我国政府陆续出台了一系列政策扶持PVD设备产业发展。
在政策扶持下，我国PVD设备工艺技术不断取得突破，产品国产化率不断上升。数据显示，我国PVD设备国产化率已由2013年的不到1%上升至2019年的15%。
与此同时，我国国产PVD设备的投资额与需求规模在近两年也急速上升。数据显示，2020年，在我国内资产线中，国产设备的投资额将从2019年的47亿元提升到80亿元，需求规模将从2019年的2.3亿元提升至5.6亿元。
其中，随着中芯国际、华虹系等持续扩产，CuBS-PVD设备未来市场规模可观，或将成为我国PVD设备行业快速发展的新增长点。
但整体来看，目前我国PVD设备部分类型的产品仍暂无生产能力，与海外龙头企业仍存在一定差距。
而从全球PVD设备市场竞争格局来看，也可以反映出目前我国国产PVD设备竞争力仍较低。提升竞争力，加速相关技术研发，是我国PVD设备行业发展的重点任务。数据显示，目前在全球PVD设备市场，AMAT一家独大，约占全球市场份额的80%以上，而我国厂商占比仅为10%左右。
相关行业分析报告参考《2020年中国PVD设备市场调研报告-产业规模现状与投资商机研究》。
PVD设备产业链
资料来源：公开资料整理
从全球范围来看，数据显示，近年来，全球PVD设备市场规模稳步增长，到2019年其市场规模已达25.75亿美元，到2025年将达32.51亿美元。
2014-2025年全球PVD设备市场规模变化
数据来源：公开资料整理
从国内范围来看，由于PVD设备的应用对于集成电路制造行业有着不可忽视的作用，我国政府陆续出台了一系列政策扶持PVD设备产业发展。
我国PVD设备相关政策
| 政策名称 |
主要内容 |
| 《中国制造2025》 |
提升封装、测试产业的自主发展能力，形成关键制造设备的供货能力。 |
| 《我国集成电路产业“十三五”发展规划建议》 |
关键装备和材料进入国际采购体系，基本建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系。 |
| 《国家高新技术产业开发区“十三五”规划》 |
优化产业结构，推进集成电路及专用装备关键核心技术突破和应用。 |
| 《“十三五”国家科技创新规划》 |
攻克14nm刻蚀设备、薄膜设备、掺杂设备等高端制造装备及零部件，突破28nm浸没式光刻机及核心部部件。 |
| 《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目(02专项) |
构建光刻设备和封测等产业技术创新联盟，集合产业链上制造工艺、装备、相关零部件和材料等上下游企业、相关研究机构和高等院校达200多家单位共同开展产学研用协同攻关。 |
资料来源：公开资料整理
在政策扶持下，我国PVD设备工艺技术不断取得突破，产品国产化率不断上升。数据显示，我国PVD设备国产化率已由2013年的不到1%上升至2019年的15%。
我国PVD设备国产化率变化情况
资料来源：公开资料整理
与此同时，我国国产PVD设备的投资额与需求规模在近两年也急速上升。数据显示，2020年，在我国内资产线中，国产设备的投资额将从2019年的47亿元提升到80亿元，需求规模将从2019年的2.3亿元提升至5.6亿元。
2019-2020年我国内资产国产PVD设备投资额与需求规模变化
数据来源：公开资料整理
其中，随着中芯国际、华虹系等持续扩产，CuBS-PVD设备未来市场规模可观，或将成为我国PVD设备行业快速发展的新增长点。
我国内资产线CuBS-PVD设备需求预测
| 产线 |
制程 |
规划月产能（万片） |
2019年月产能（万片） |
CuBS-PVD设备需求（台） |
|
| 逻辑代工 |
中芯国际 |
FinFET |
8 |
0.5 |
30+ |
| 65/55nm |
4 |
1 |
15+ |
||
| 华虹无锡(一期） |
90-65/55nm |
4 |
0.7 |
15+ |
|
| 华力微（华虹Fab6) |
28/20/14nm |
4 |
2 |
10+ |
|
| 存储器 |
长江存储(一期） |
3DNAND |
30 |
2.8 |
20+ |
| 合肥长鑫(一期） |
DRAM19nm |
12.5 |
|
5+ |
|
| 未来总需求（台） |
95+ |
||||
| 未来总市场规模（亿元） |
40+ |
||||
资料来源：公开资料整理
但整体来看，目前我国PVD设备部分类型的产品仍暂无生产能力，与海外龙头企业仍存在一定差距。
我国PVD设备行业相关技术进展情况
| 设备名称 |
已量产（nm） |
在研（nm） |
| High
k |
/ |
/ |
| Ni-Pt |
/ |
/ |
| Ti |
40-110 |
28 |
| TiN |
40-110 |
28 |
| Cu
B/S |
/ |
28-65 |
| HM |
28 |
14 |
| AI
pad |
28-110 |
14 |
资料来源：公开资料整理
而从全球PVD设备市场竞争格局来看，也可以反映出目前我国国产PVD设备竞争力仍较低。提升竞争力，加速相关技术研发，是我国PVD设备行业发展的重点任务。数据显示，目前在全球PVD设备市场，AMAT一家独大，约占全球市场份额的80%以上，而我国厂商占比仅为10%左右。
全球PVD设备市场竞争格局
数据来源：公开资料整理（shz）
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