电子气体种类繁多，是晶圆制造过程中的重要材料。按照在半导体制造过程中对应工艺的不同，可以分为大宗气体、外延用气体、蚀刻气体、掺杂气体、离子注入气体等。在半导体工业中应用的有110余种电子气体，常用的有30种左右。
2016年全球半导体用特种气体市场规模34.7亿美元，2017年增长到38.9亿美元，增速12.32%，未来有望受益于中国半导体行业的大发展持续增长。
目前全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局，美国气体化工、法国法液空、德国林德、日本日酸和美国普莱克斯占比94%以上。国内半导体用电子市场主要被国外厂商占据，其中美国气体化工、美国普莱克斯、昭和电工、英国BOC、法国液空和日本日酸6家公司合计市占率高达85%，国内企业占比较低。
参考观研天下发布《2018年中国电子特种气体市场分析报告-行业运营态势与投资前景预测》
电子气体分类及用途
| 类别 |
主要产品 |
主要用途 |
| 大宗气体 |
N2、02、Ar、H2、He等 |
环境气、保护气、载体 |
| 外延用气体 |
SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4等 |
外延生长 |
| 蚀刻气体 |
SF6、CF4、NF3、SiF4、C3F8、C2F6、HCI、HF、CL2、HBr等 |
刻蚀 |
| 掺杂气体 |
AsH3、PH3、B2H6、ASCI3、AsF3、BC13、PC13等 |
掺杂相应元素 |
| 离子注入气体 |
AsF5、PF5、SiF4等 |
离子注入元素 |
图表来源：观研天下整理
2016年全球半导体用特种气体市场规模34.7亿美元，2017年增长到38.9亿美元，增速12.32%，未来有望受益于中国半导体行业的大发展持续增长。
全球半导体用电子气体市场规模及增速
图表来源：观研天下整理
中国半导体用电子气体市场规模及增速
图表来源：观研天下整理
目前全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局，美国气体化工、法国法液空、德国林德、日本日酸和美国普莱克斯占比94%以上。国内半导体用电子市场主要被国外厂商占据，其中美国气体化工、美国普莱克斯、昭和电工、英国BOC、法国液空和日本日酸6家公司合计市占率高达85%，国内企业占比较低。
参考观研天下发布《2018年中国电子特种气体市场分析报告-行业运营态势与投资前景预测》
全球半导体用电子气体市场格局
图表来源：观研天下整理
中国半导体用电子气体市场格局
图表来源：观研天下整理
国内主要电子气体企业
| 公司名称 |
主要产品 |
| 南大光电 |
高纯砷烷、磷烷 |
| 巨化股份 |
高纯氨气、氟气、氯气、三氟化氮等 |
| 启源装备 |
高纯磷烷、砷烷、锗烷 |
| 稚克科技(科美特) |
六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮 |
| 金宏气体 |
超纯氛、氯化氢、二氧化碳 |
| 中船重工718所 |
六氛化钨、三氟化氮、 |
| 华特气体 |
氮气、氩气、氦气、四氟化硅 |
| 黎明化工研究设计院 |
四氟化碳、三氟化氮 |
| 中昊光明 |
氨、三氟化氮 |
| 南京特种气体 |
氨、三氟化氮 |
图表来源：观研天下整理
资料来源：公开资料，观研天下ZQ整理
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