2018年全球半导体用电子气体行业寡头格局明显本土企业逐步放量

2018-11-26 01:32

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电子气体种类繁多，是晶圆制造过程中的重要材料。按照在半导体制造过程中对应工艺的不同，可以分为大宗气体、外延用气体、蚀刻气体、掺杂气体、离子注入气体等。在半导体工业中应用的有110余种电子气体，常用的有30种左右。

电子气体分类及用途

类别	主要产品	主要用途
大宗气体	N2、02、Ar、H2、He等	环境气、保护气、载体
外延用气体	SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4等	外延生长
蚀刻气体	SF6、CF4、NF3、SiF4、C3F8、C2F6、HCI、HF、CL2、HBr等	刻蚀
掺杂气体	AsH3、PH3、B2H6、ASCI3、AsF3、BC13、PC13等	掺杂相应元素
离子注入气体	AsF5、PF5、SiF4等	离子注入元素

图表来源：观研天下整理

        2016年全球半导体用特种气体市场规模34.7亿美元，2017年增长到38.9亿美元，增速12.32%，未来有望受益于中国半导体行业的大发展持续增长。

全球半导体用电子气体市场规模及增速

图表来源：观研天下整理

中国半导体用电子气体市场规模及增速

图表来源：观研天下整理

        目前全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局，美国气体化工、法国法液空、德国林德、日本日酸和美国普莱克斯占比94%以上。国内半导体用电子市场主要被国外厂商占据，其中美国气体化工、美国普莱克斯、昭和电工、英国BOC、法国液空和日本日酸6家公司合计市占率高达85%，国内企业占比较低。

        参考观研天下发布《2018年中国电子特种气体市场分析报告-行业运营态势与投资前景预测》

全球半导体用电子气体市场格局

图表来源：观研天下整理

中国半导体用电子气体市场格局

图表来源：观研天下整理

国内主要电子气体企业

公司名称	主要产品
南大光电	高纯砷烷、磷烷
巨化股份	高纯氨气、氟气、氯气、三氟化氮等
启源装备	高纯磷烷、砷烷、锗烷
稚克科技(科美特)	六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮
金宏气体	超纯氛、氯化氢、二氧化碳
中船重工718所	六氛化钨、三氟化氮、
华特气体	氮气、氩气、氦气、四氟化硅
黎明化工研究设计院	四氟化碳、三氟化氮
中昊光明	氨、三氟化氮
南京特种气体	氨、三氟化氮