半导体设备是在芯片制造和封测流程中应用到的设备，主要运用于集成电路的制造和封测两个流程，分为晶圆加工设备、检测设备和封装设备。其中，在晶圆加工流程中包括氧化、光刻和刻蚀、离子注入和退火、气相沉积、化学机械研磨、晶圆检测等。
2014-2019年，中国半导体设备市场规模呈现逐年增长态势，增速波动变化。根据SEMI数据显示，2019年中国半导体设备行业实现市场规模134.5亿美元，同比增长2.6%；2020年一季度受疫情影响较小，行业实现规模35亿元，同比增长48%。
同时，中国半导体设备市场规模占全球市场规模的比重也一直呈增长态势。根据中国电子专用设备工业协会数据显示，2019年中国大陆在全球市场占比实现22.5%，同比增长2.3%。
不过，我国半导体设备企业销售规模虽不断增长，但整体国产率仍较低且主要依赖进口。根据相关数据显示，目前我国本土晶圆厂设备的国产化情况如下：
从国内企业竞争情况看，据中国电子专用设备工业协会的数据显示，2019年中国半导体设备TOP10企业共完成销售收入143.43亿元。其中，浙江晶盛机电股份有限公司半导体设备销售收入达到28.86亿元，位居首位；其次是北方华创科技集团股份有限公司，销售收入为28.42亿元。但是与全球半导体设备企业销售收入对比下，我国半导体设备企业规模处于较低水平，甚至部分设备需求仍依赖于国外品牌。
相关行业分析报告参考《2020年中国半导体设备行业投资分析报告-行业现状与投资商机研究》。
半导体制造流程及对应设备
数据来源：公开资料整理
2014-2019年，中国半导体设备市场规模呈现逐年增长态势，增速波动变化。根据SEMI数据显示，2019年中国半导体设备行业实现市场规模134.5亿美元，同比增长2.6%；2020年一季度受疫情影响较小，行业实现规模35亿元，同比增长48%。
2014-2020年Q1我国半导体设备市场规模及增长情况
数据来源：中国电子专用设备工业协会
同时，中国半导体设备市场规模占全球市场规模的比重也一直呈增长态势。根据中国电子专用设备工业协会数据显示，2019年中国大陆在全球市场占比实现22.5%，同比增长2.3%。
2013-2019年中国半导体设备市场规模占全球比重走势图
数据来源：中国电子专用设备工业协会
不过，我国半导体设备企业销售规模虽不断增长，但整体国产率仍较低且主要依赖进口。根据相关数据显示，目前我国本土晶圆厂设备的国产化情况如下：
2019年中国半导体设备国产化情况分析
设备名称 |
国产化率(%) |
去胶设备 |
90%以上 |
洁洗设备 |
20%左右 |
刻蚀设备 |
20%左右 |
热处理设备 |
20%左右 |
PVD设备 |
10%左右 |
CMP设备 |
10%左右 |
涂胶显影设备 |
零的突破 |
光刻设备 |
预计将有零的突破 |
数据来源：中国电子专用设备工业协会
从国内企业竞争情况看，据中国电子专用设备工业协会的数据显示，2019年中国半导体设备TOP10企业共完成销售收入143.43亿元。其中，浙江晶盛机电股份有限公司半导体设备销售收入达到28.86亿元，位居首位；其次是北方华创科技集团股份有限公司，销售收入为28.42亿元。但是与全球半导体设备企业销售收入对比下，我国半导体设备企业规模处于较低水平，甚至部分设备需求仍依赖于国外品牌。
2019年中国半导体设备销售收入TOP10企业
数据来源：中国电子专用设备工业协会（WYD）
相关行业分析报告参考《2020年中国半导体设备行业投资分析报告-行业现状与投资商机研究》。
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